Silaani (SiH4)

Tekniset parametrit

Silaani on piin ja vedyn yhdiste. Se on yleisnimitys useille yhdisteille, mukaan lukien monosilaani (SiH4), disilaani (Si2H6) ja jotkut korkeamman tason pii-vety-yhdisteet. Näistä monosilaani on yleisin, jota joskus kutsutaan lyhyesti silaaniksi. Silaani on väritön kaasu, jolla on vastenmielinen valkosipulin tuoksu. Liukenee veteen, lähes liukenematon etanoliin, eetteriin, bentseeniin, kloroformiin, piikloroformiin ja piitetrakloridiin. Silaanien kemialliset ominaisuudet ovat paljon aktiivisempia kuin alkaanien ja ne hapettuvat helposti. Itsesyttymistä voi tapahtua kosketuksissa ilman kanssa. Se ei reagoi typen kanssa alle 25 °C:ssa eikä hiilivetyyhdisteiden kanssa huoneenlämmössä. Silaanin tulipalo ja räjähdys johtuvat reaktiosta hapen kanssa. Silaani on erittäin herkkä hapelle ja ilmalle. Tietyssä pitoisuudessa silaani reagoi räjähdysmäisesti myös hapen kanssa -180 °C:n lämpötilassa. Silaanista on tullut tärkein puolijohdemikroelektroniikan prosesseissa käytetty erikoiskaasu, ja sitä käytetään erilaisten mikroelektronisten kalvojen, kuten yksikiteisten kalvojen, mikrokiteisten, polykiteisten, piioksidi-, piinitridi- ja metallisilisidikalvojen valmistuksessa. Silaanin mikroelektroniset sovellukset kehittyvät edelleen syvällisesti: matalan lämpötilan epitaksi, selektiivinen epitaksi ja heteroepitaksiaalinen epitaksi. Ei vain piilaitteissa ja pii-integroiduissa piireissä, vaan myös yhdistepuolijohdelaitteissa (gallium-arsenidi, piikarbidi jne.). Sillä on myös sovelluksia superhila-kvanttikuoppamateriaalien valmistuksessa. Voidaan sanoa, että silaania käytetään lähes kaikissa edistyneissä integroitujen piirien tuotantolinjoissa nykyaikana. Silaanin käyttö piitä sisältävänä kalvona ja pinnoitteena on laajentunut perinteisestä mikroelektroniikkateollisuudesta eri aloille, kuten teräkseen, koneisiin, kemikaaleihin ja optiikkaan. Toinen silaanin mahdollinen sovellus on korkean suorituskyvyn keraamisten moottorinosien valmistus, erityisesti silaanin käyttö silisidi- (Si3N4, SiC jne.) mikrojauheteknologian valmistuksessa on herättänyt yhä enemmän huomiota.

Sovellus:

①Elektroninen:

Silaania levitetään piikiekkojen polykiteisiin piikerroksiin puolijohteita ja tiivisteitä valmistettaessa.

②Aurinkoenergia:

Silaania käytetään aurinkosähköpaneelien valmistuksessa.

③Teollisuus:

Sitä käytetään energiansäästöisessä vihreässä lasissa ja sitä käytetään höyrypinnoitusohutkalvoprosessissa.

Normaali paketti:

Etu:

① Yli kymmenen vuotta markkinoilla;

②ISO-sertifikaatin valmistaja;

③Nopea toimitus;

④Vakaa raaka-ainelähde;

⑤Verkkopohjainen analyysijärjestelmä laadunvalvontaan jokaisessa vaiheessa;

⑥Korkea vaatimus ja huolellinen prosessi sylinterin käsittelyyn ennen täyttöä;

⑦Puhtaus: erittäin puhdas elektroninen laatu;

⑧Käyttö: aurinkokennomateriaalit; erittäin puhtaan polysilikonin, piioksidin ja optisen kuidun valmistus; värillisen lasin valmistus.