Silaani (SiH4)

Tekniset parametrit

Silaani on piin ja vedyn yhdiste. Se on yleinen termi joukolle yhdisteitä, mukaan lukien monosilaani (SiH4), disilaani (Si2H6) ja eräät korkeamman tason pii-vetyyhdisteet. Niistä monosilaani on yleisin, jota joskus kutsutaan lyhyesti silaaniksi. Silaani on väritön kaasu, jolla on inhottava valkosipulin haju. Liukenee veteen, lähes liukenematon etanoliin, eetteriin, bentseeniin, kloroformiin, piikloroformiin ja piitetrakloridiin. Silaanien kemialliset ominaisuudet ovat paljon aktiivisempia kuin alkaanit ja hapettavat helposti. Spontaani palaminen voi tapahtua joutuessaan kosketuksiin ilman kanssa. Se ei reagoi typen kanssa alle 25°C:ssa, eikä reagoi hiilivetyyhdisteiden kanssa huoneenlämpötilassa. Silaanin tulipalo ja räjähdys ovat seurausta reaktiosta hapen kanssa. Silaani on erittäin herkkä hapelle ja ilmalle. Tietyn pitoisuuden omaava silaani reagoi myös räjähdysmäisesti hapen kanssa -180°C:n lämpötilassa. Silaanista on tullut tärkein puolijohdemikroelektroniikan prosesseissa käytetty erikoiskaasu, ja sitä käytetään erilaisten mikroelektronisten kalvojen valmistukseen, mukaan lukien yksikidekalvot, mikrokiteiset, monikiteiset, piioksidit, piinitridit ja metallisilikit. Silaanin mikroelektroniset sovellukset kehittyvät edelleen syvällisesti: matalan lämpötilan epitaksi, selektiivinen epitaksia ja heteroepitaksiaalinen epitaksi. Ei vain piilaitteille ja piiintegroiduille piireille, vaan myös yhdistepuolijohdelaitteisiin (galliumarsenidi, piikarbidi jne.). Sillä on myös sovelluksia superhilaisten kvanttikuivomateriaalien valmistuksessa. Voidaan sanoa, että silaania käytetään lähes kaikilla kehittyneillä integroitujen piirien tuotantolinjoilla nykyaikana. Silaanin käyttö piitä sisältävänä kalvona ja pinnoitteena on laajentunut perinteisestä mikroelektroniikkateollisuudesta eri aloille, kuten teräkseen, koneisiin, kemikaaleihin ja optiikkaan. Toinen silaanin mahdollinen sovelluskohde on korkean suorituskyvyn keraamisten moottorin osien valmistus, erityisesti silaanin käyttö silisidi (Si3N4, SiC jne.) mikrojauheteknologian valmistuksessa on herättänyt yhä enemmän huomiota.

Sovellus:

①Elektroninen:

Silaania levitetään piikiekkojen monikiteisille piikerroksille puolijohteita ja tiivisteaineita valmistettaessa.

②Aurinkoenergia:

Silaania käytetään aurinkosähkömoduulien valmistuksessa.

③ Teollinen:

Sitä käytetään energiaa säästävässä vihreässä lasissa ja käytetään höyrypinnoitusohutkalvoprosessissa.

Normaali paketti:

Etu:

①Yli kymmenen vuotta markkinoilla;

②ISO-sertifikaatin valmistaja;

③ Nopea toimitus;

④ Vakaa raaka-ainelähde;

⑤On-line-analyysijärjestelmä laadunvalvontaan joka vaiheessa;

⑥ Korkeat vaatimukset ja huolellinen prosessi sylinterin käsittelyyn ennen täyttöä;

⑦ Puhtaus: korkean puhtauden elektroninen laatu;

⑧Käyttö: aurinkokennomateriaalit; erittäin puhtaan polypiin, piioksidin ja optisen kuidun valmistus; värillisen lasin valmistus.