Silaanion piin ja vedyn yhdiste, ja se on yleisnimitys useille yhdisteille. Silaaniin kuuluvat pääasiassa monosilaani (SiH4), disilaani (Si2H6) ja joitakin korkeamman tason piivetyyhdisteitä, joiden yleinen kaava on SinH2n+2. Varsinaisessa tuotannossa kutsumme kuitenkin yleensä monosilaania (kemiallinen kaava SiH4) silaaniksi.

Elektroninen laatusilaanikaasusaadaan pääasiassa piijauheen, vedyn, piitetrakloridin, katalyytin jne. erilaisilla reaktiotislauksilla ja puhdistuksilla. Silaania, jonka puhtaus on 3N - 4N, kutsutaan teollisuuslaatuiseksi silaaniksi, ja silaania, jonka puhtaus on yli 6N, kutsutaan elektroniikkalaatuiseksi silaanikaasuksi.

Piikomponenttien kuljettamiseen tarkoitetun kaasun lähteenä,silaanikaasuon tullut tärkeäksi erikoiskaasuksi, jota monet muut piilähteet eivät pysty korvaamaan sen korkean puhtauden ja hienosäätökyvyn vuoksi. Monosilaani tuottaa kiteistä piitä pyrolyysireaktion avulla, joka on tällä hetkellä yksi menetelmistä rakeisen monokiteisen piin ja polykiteisen piin laajamittaiseen tuotantoon maailmassa.

Silaanin ominaisuudet

Silaani (SiH4)on väritön kaasu, joka reagoi ilman kanssa ja aiheuttaa tukehtumisen. Sen synonyymi on piihydridi. Silaanin kemiallinen kaava on SiH4, ja sen pitoisuus on jopa 99,99 %. Huoneenlämmössä ja -paineessa silaani on pahanhajuinen myrkyllinen kaasu. Silaanin sulamispiste on -185 ℃ ja kiehumispiste -112 ℃. Huoneenlämmössä silaani on stabiili, mutta 400 ℃:een kuumennettaessa se hajoaa kokonaan kaasumaiseksi piiksi ja vedyksi. Silaani on syttyvää ja räjähdysherkkää, ja se palaa räjähdysmäisesti ilmassa tai halogeenikaasussa.

Sovellusalueet

Silaanilla on laaja käyttöalue. Sen lisäksi, että se on tehokkain tapa kiinnittää piimolekyylejä kennon pintaan aurinkokennojen valmistuksessa, sitä käytetään laajalti myös valmistuslaitoksissa, kuten puolijohteissa, litteissä näytöissä ja pinnoitetussa lasissa.

Silaanion piin lähde kemiallisissa höyrypinnoitusprosesseissa, kuten yksikiteisessä piissä, monikiteisissä piiepitaksiaalisissa kiekoissa, piidioksidissa, piinitridissä ja fosfosilikaattilasissa puolijohdeteollisuudessa, ja sitä käytetään laajalti aurinkokennojen, piikopiokoneiden rumpujen, valosähköisten anturien, optisten kuitujen ja erikoislasin tuotannossa ja kehittämisessä.

Viime vuosina silaanien korkean teknologian sovellukset ovat edelleen kehittymässä, mukaan lukien edistyneiden keramiikkojen, komposiittimateriaalien, funktionaalisten materiaalien, biomateriaalien, korkeaenergisten materiaalien jne. valmistus, ja niistä on tullut monien uusien teknologioiden, uusien materiaalien ja uusien laitteiden perusta.