Mikä on hiilitetrafluoridi? Mitä hyötyä?

Mikä onhiilitetrafluoridi? Mitä hyötyä?

Hiilitetrafluoriditetrafluorimetaania, jota pidetään epäorgaanisena yhdisteenä. Sitä käytetään erilaisten integroitujen piirien plasmaetsausprosessissa, ja sitä käytetään myös laserkaasuna ja kylmäaineena. Se on suhteellisen vakaa normaalissa lämpötilassa ja paineessa, mutta on välttämätöntä välttää kosketusta vahvojen hapettimien, syttyvien tai palavien materiaalien kanssa. Hiilitetrafluoridi on palamaton kaasu. Jos se kohtaa korkean lämmön, se aiheuttaa säiliön sisäisen paineen nousun ja halkeamis- ja räjähdysvaaran. Yleensä se voi olla vuorovaikutuksessa vain nestemäisen ammoniakki-natriummetallireagenssin kanssa huoneenlämpötilassa.

Hiilitetrafluoridion tällä hetkellä suurin mikroelektroniikkateollisuudessa käytetty plasmaetsauskaasu. Sitä voidaan käyttää laajasti piin, piidioksidin, fosfosilikaattilasin ja muiden ohutkalvomateriaalien syövytykseen, elektronisten laitteiden pinnan puhdistukseen, aurinkokennojen valmistukseen, laserteknologiaan, kaasufaasieristykseen, matalan lämpötilan jäähdytykseen, vuotojen havaitsemiseen, ja painettujen piirien valmistuksessa käytetyillä pesuaineilla on lukuisia sovelluksia.