Mikä on hiilitetrafluoridi? Mikä on käyttö?

Mikä onhiilitetrafluoridi? Mikä on käyttö?

Hiilitetrafluoridi, joka tunnetaan myös nimellä tetrafluorimetaani, pidetään epäorgaanisena yhdisteenä. Sitä käytetään eri integroitujen piirien plasman etsausprosessissa, ja sitä käytetään myös laserkaasuna ja kylmäaineena. Se on suhteellisen stabiili normaalin lämpötilan ja paineessa, mutta on välttämätöntä välttää kosketus vahvojen hapettimien, palavien tai palavien materiaalien kanssa. Hiilitetrafluoridi on palamattomia kaasuja. Jos se kohtaa korkeaa lämpöä, se aiheuttaa säiliön sisäisen paineen nousun, ja murtumisen ja räjähdyksen vaara on vaara. Yleensä se voi olla vuorovaikutuksessa vain nestemäisen ammoniakkisatummetallireagenssin kanssa huoneenlämpötilassa.

Hiilitetrafluoridion tällä hetkellä suurin mikroelektroniikkateollisuudessa käytetty plasman etsauskaasu. Sitä voidaan käyttää laajasti piin, piihidioksidin, fosfosilikaattilasin ja muiden ohutkalvomateriaalien syövyttämiseen, elektronisten laitteiden pinnan, aurinkokennojen tuotannon, lasertekniikan, kaasufaasin eristyksen, pienen lämpötilan jäähdytysten, vuotojen havaitsemisagenttien ja painetun piirin tuotannon peterien puhdistamiseen.