Mikä on hiilitetrafluoridi? Mihin sitä käytetään?

Mikä onhiilitetrafluoridiMitä hyötyä siitä on?

Hiilitetrafluoridi, joka tunnetaan myös nimellä tetrafluorimetaani, on epäorgaaninen yhdiste. Sitä käytetään erilaisten integroitujen piirien plasmaetsausprosessissa sekä laserkaasuna ja kylmäaineena. Se on suhteellisen stabiili normaalissa lämpötilassa ja paineessa, mutta on vältettävä kosketusta voimakkaiden hapettimien, syttyvien tai palavien materiaalien kanssa. Hiilitetrafluoridi on palamaton kaasu. Jos se altistuu korkealle kuumuudelle, se aiheuttaa säiliön sisäisen paineen nousun, ja on olemassa halkeilu- ja räjähdysvaara. Yleensä se voi reagoida nestemäisen ammoniakki-natriummetallireagenssin kanssa vain huoneenlämmössä.

Hiilitetrafluoridion tällä hetkellä mikroelektroniikkateollisuudessa eniten käytetty plasmaetsauskaasu. Sitä voidaan käyttää laajalti piin, piidioksidin, fosfosilikaattilasin ja muiden ohutkalvomateriaalien etsauksessa, elektronisten laitteiden pinnan puhdistuksessa, aurinkokennojen tuotannossa, lasertekniikassa, kaasufaasieristyksessä, matalan lämpötilan jäähdytyksessä, vuotojen havaitsemisaineissa ja painettujen piirien tuotannossa käytettävinä pesuaineina, ja sillä on paljon sovelluksia.