Elektroninenerikoiskaasutovat tärkeä erityiskaasujen haara. Ne tunkeutuvat melkein kaikkiin puolijohteiden tuotannon linkkiin ja ovat välttämättömiä raaka-aineita elektronisten teollisuudenalojen, kuten erittäin suuren mittakaavan integroidun piirin, litteiden paneelien näyttelylaitteiden ja aurinkokennojen, tuotantoon.

Puolijohdeteknologiassa käytetään laajasti fluoriinia sisältäviä kaasuja. Tällä hetkellä globaaleilla elektronisten kaasumarkkinoilla fluoriinia sisältävien elektronisten kaasujen osuus on noin 30% kokonaismäärästä. Fluoripitoiset elektroniset kaasut ovat tärkeä osa erityisiä elektronisia kaasuja elektronisten tietomateriaalien alalla. Niitä käytetään pääasiassa puhdistusagentteina ja etsausaineina, ja niitä voidaan käyttää myös lisäaineina, kalvonmuodostusmateriaaleina jne. Tässä artikkelissa kirjoittaja vie sinut ymmärtämään yhteisiä fluoripitoisia kaasuja.

Seuraavia on yleisesti käytetty fluoriinia sisältäviä kaasuja

Typen trifluoridi (NF3): Kaskut, joita käytetään saostumien puhdistamiseen ja poistamiseen, käytetään yleensä reaktiokammioiden ja laitepintojen puhdistamiseen.

Rikkiheksafluoridi (SF6): Fluorausaine, jota käytetään oksidin laskeutumisprosesseissa ja eristävänä kaasuna eristävien väliaineiden täyttämiseksi.

Vetyfluoridi (HF): Käytetään oksidien poistamiseen piin pinnasta ja syövyttäjänä piin ja muiden materiaalien syövyttämiseksi.

Typen fluoridi (NF): Käytetään materiaalien, kuten piinitridin (sin) ja alumiininitridin (ALN), syövyttämiseen.

Trifluorimetaani (CHF3) jaTetrafluorimetaani (CF4): Käytetään syövyttämään fluoridimateriaaleja, kuten piitalion fluoridia ja alumiinifluoria.

Fluoripitoisilla kaasuilla on kuitenkin tiettyjä vaaroja, mukaan lukien myrkyllisyys, syövyttävyys ja syttyvyys.

Myrkyllisyys

Jotkut fluoripitoiset kaasut ovat myrkyllisiä, kuten vetyfluoridia (HF), joiden höyry on erittäin ärsyttävä iholle ja hengitystiloihin ja haitallisia ihmisten terveydelle.

Syövyttävyys

Vetyfluoridi ja jotkut fluoridit ovat erittäin syövyttäviä ja voivat aiheuttaa vakavia vaurioita iholle, silmille ja hengitysteiden alueelle.

Syttyvyys

Jotkut fluoridit ovat syttyviä ja reagoivat hapen tai veden kanssa ilmassa voimakkaan lämmön ja myrkyllisten kaasujen vapauttamiseksi, mikä voi aiheuttaa tulen tai räjähdyksen.

Korkeapaineinen vaara

Jotkut fluoratut kaasut ovat räjähteitä korkean paineessa ja vaativat erityistä hoitoa käytettäessä ja varastoituna.

Vaikutukset ympäristöön

Fluoripitoisilla kaasuilla on korkeat ilmakehän elinaikat ja GWP-arvot, joilla on tuhoisa vaikutus ilmakehän otsonikerrokseen ja jotka voivat aiheuttaa ilmaston lämpenemistä ja ympäristön pilaantumista.

Kaasujen levitys nousevilla aloilla, kuten elektroniikka, syvenee edelleen, mikä tuo suuren määrän uusia teollisuuskaasujen kysyntää. Manner -Kiinan tärkeimpien elektronisten komponenttien, kuten puolijohteiden ja näyttelypaneelien suuren määrän uuden tuotantokapasiteetin perusteella, seuraavien vuosien aikana, samoin kuin elektronisten kemiallisten materiaalien tuonnin korvaamisen vahva kysyntä, kotimainen elektroninen kaasuteollisuus asettaa korkean kasvunopeuden.