Elektroninenerikoiskaasujaovat erikoiskaasujen tärkeä haara. Ne tunkeutuvat lähes kaikkiin puolijohdetuotannon linkkeihin ja ovat välttämättömiä raaka-aineita elektroniikkateollisuuden tuotannossa, kuten erittäin suurissa integroiduissa piireissä, litteissä näyttölaitteissa ja aurinkokennoissa.

Puolijohdeteknologiassa fluoria sisältäviä kaasuja käytetään laajalti. Tällä hetkellä maailmanlaajuisilla elektroniikkakaasumarkkinoilla fluoria sisältävien elektroniikkakaasujen osuus on noin 30 % kokonaismäärästä. Fluoripitoiset elektroniikkakaasut ovat tärkeä komponentti erikoiselektroniikkakaasuissa elektronisten tietomateriaalien alalla. Niitä käytetään pääasiassa puhdistus- ja etsausaineina, ja niitä voidaan käyttää myös lisäaineina, kalvon muodostavina materiaaleina jne. Tässä artikkelissa kirjoittaja opastaa sinua ymmärtämään yleisiä fluoria sisältäviä kaasuja.

Seuraavat ovat yleisesti käytettyjä fluoria sisältäviä kaasuja

Typpitrifluoridi (NF3): Kaasu, jota käytetään puhdistukseen ja kerrostumien poistamiseen, jota käytetään yleensä reaktiokammioiden ja laitepintojen puhdistamiseen.

Rikkiheksafluoridi (SF6): Fluorausaine, jota käytetään oksidipinnoitusprosesseissa ja eristävänä kaasuna eristysmateriaalien täyttämiseen.

Fluorivety (HF): Käytetään oksidien poistamiseen piin pinnalta ja etsausaineena piin ja muiden materiaalien syövytyksessä.

Typpifluoridi (NF): Käytetään materiaalien, kuten piinitridin (SiN) ja alumiininitridin (AlN) etsaukseen.

trifluorimetaani (CHF3) jatetrafluorimetaani (CF4): Käytetään fluoridimateriaalien, kuten piifluoridin ja alumiinifluoridin, etsaukseen.

Fluoripitoisilla kaasuilla on kuitenkin tiettyjä vaaroja, kuten myrkyllisyys, syövyttävyys ja syttyvyys.

Myrkyllisyys

Jotkut fluoria sisältävät kaasut ovat myrkyllisiä, kuten fluorivety (HF), jonka höyryt ärsyttävät voimakkaasti ihoa ja hengitysteitä ja ovat haitallisia ihmisten terveydelle.

Syövyttävyys

Fluorivety ja jotkut fluoridit ovat erittäin syövyttäviä ja voivat aiheuttaa vakavia vaurioita iholle, silmille ja hengitysteille.

Syttyvyys

Jotkut fluoridit ovat syttyviä ja reagoivat ilman hapen tai veden kanssa vapauttaen voimakasta lämpöä ja myrkyllisiä kaasuja, jotka voivat aiheuttaa tulipalon tai räjähdyksen.

Korkean paineen vaara

Jotkut fluoratut kaasut ovat räjähtäviä korkeassa paineessa ja vaativat erityistä varovaisuutta käytettäessä ja varastoituna.

Vaikutus ympäristöön

Fluoripitoisilla kaasuilla on korkeat ilmakehän elinajat ja GWP-arvot, joilla on tuhoisa vaikutus ilmakehän otsonikerrokseen ja ne voivat aiheuttaa ilmaston lämpenemistä ja ympäristön saastumista.

Kaasujen käyttö kehittyvillä aloilla, kuten elektroniikassa, syvenee edelleen, mikä tuo suuren määrän uutta kysyntää teollisuuskaasuille. Koska Manner-Kiinassa lähivuosina tulee suuri määrä merkittävien elektronisten komponenttien, kuten puolijohteiden ja näyttöpaneelien tuotantokapasiteettia, sekä sähköisten kemiallisten materiaalien tuontikorvaustarpeiden vahvaan kysyntään, kotimainen elektroniikkakaasuteollisuus ottaa käyttöön korkea kasvuvauhti.