Elektroninenerikoiskaasutovat tärkeä erikoiskaasujen haara. Ne tunkeutuvat lähes kaikkiin puolijohdetuotannon osiin ja ovat välttämättömiä raaka-aineita elektroniikkateollisuuden, kuten erittäin suurten integroitujen piirien, litteiden näyttöjen ja aurinkokennojen, tuotannossa.

Puolijohdetekniikassa fluoria sisältäviä kaasuja käytetään laajalti. Tällä hetkellä fluoria sisältävien elektroniikkakaasujen osuus maailmanlaajuisista elektroniikkakaasumarkkinoista on noin 30 %. Fluoria sisältävät elektroniikkakaasut ovat tärkeä osa elektronisten tietomateriaalien alalla käytettäviä erityisiä elektroniikkakaasuja. Niitä käytetään pääasiassa puhdistusaineina ja syövytysaineina, mutta niitä voidaan käyttää myös seostusaineina, kalvonmuodostusaineina jne. Tässä artikkelissa kirjoittaja vie sinut tutustumaan yleisiin fluoria sisältäviin kaasuihin.

Seuraavat ovat yleisesti käytettyjä fluoria sisältäviä kaasuja

Typpitrifluoridi (NF3): Kaasu, jota käytetään puhdistukseen ja kerrostumien poistoon, yleensä reaktiokammioiden ja laitteiden pintojen puhdistukseen.

Rikkiheksafluoridi (SF6)Fluoraava aine, jota käytetään oksidipinnoitusprosesseissa ja eristyskaasuna eristysaineiden täyttämiseen.

Vetyfluoridi (HF): Käytetään oksidien poistamiseen piin pinnalta ja syövytysaineena piin ja muiden materiaalien syövytyksessä.

Typpifluoridi (NF): Käytetään piinitridin (SiN) ja alumiininitridin (AlN) syövyttämiseen.

Trifluorimetaani (CHF3) jatetrafluorimetaani (CF4)Käytetään fluoridimateriaalien, kuten piifluoridin ja alumiinifluoridin, etsaukseen.

Fluoria sisältävillä kaasuilla on kuitenkin tiettyjä vaaroja, kuten myrkyllisyys, syövyttävyys ja syttyvyys.

Myrkyllisyys

Jotkut fluoria sisältävät kaasut ovat myrkyllisiä, kuten vetyfluoridi (HF), jonka höyryt ärsyttävät voimakkaasti ihoa ja hengitysteitä ja ovat haitallisia ihmisten terveydelle.

Syövyttävyys

Vetyfluoridi ja jotkut fluoridit ovat erittäin syövyttäviä ja voivat aiheuttaa vakavia vaurioita iholle, silmille ja hengitysteille.

Syttyvyys

Jotkut fluoridit ovat syttyviä ja reagoivat ilman hapen tai veden kanssa vapauttaen voimakasta kuumuutta ja myrkyllisiä kaasuja, jotka voivat aiheuttaa tulipalon tai räjähdyksen.

Korkeapainevaara

Jotkut fluoratut kaasut ovat räjähdysherkkiä korkeassa paineessa ja vaativat erityistä varovaisuutta käytössä ja varastoinnissa.

Vaikutus ympäristöön

Fluoria sisältävillä kaasuilla on korkea elinikä ilmakehässä ja GWP-arvot, mikä tuhoaa ilmakehän otsonikerrosta ja voi aiheuttaa ilmaston lämpenemistä ja ympäristön saastumista.

Kaasujen käyttö kehittyvillä aloilla, kuten elektroniikassa, syvenee jatkuvasti, mikä tuo mukanaan suuren määrän uutta kysyntää teollisuuskaasuille. Kiinan mannerosassa lähivuosina tapahtuvan suuren uuden tuotantokapasiteetin ansiosta tärkeimpien elektronisten komponenttien, kuten puolijohteiden ja näyttöpaneelien, osalta sekä elektronisten kemikaalien tuonnin korvaamisen vahvan kysynnän ansiosta kotimainen elektroniikkakaasuteollisuus tulee kasvamaan nopeasti.