Yleisiä fluoria sisältäviä erikoiselektroniikkakaasuja ovat mmrikkiheksafluoridi (SF6), volframiheksafluoridi (WF6),hiilitetrafluoridi (CF4), trifluorimetaani (CHF3), typpitrifluoridi (NF3), heksafluorietaani (C2F6) ja oktafluoripropaani (C3F8).
Nanoteknologian ja elektroniikkateollisuuden laajamittaisen kehityksen myötä sen kysyntä kasvaa päivä päivältä. Typpitrifluoridilla, joka on välttämätön ja eniten käytetty erikoiselektroniikkakaasu paneelien ja puolijohteiden tuotannossa ja prosessoinnissa, on laaja markkina-alue.
Eräänä fluoria sisältävänä erikoiskaasuna,typpitrifluoridi (NF3)on elektroninen erikoiskaasutuote, jolla on suurin markkinakapasiteetti. Se on kemiallisesti inertti huoneenlämmössä, aktiivisempi kuin happi korkeassa lämpötilassa, vakaampi kuin fluori ja helppo käsitellä. Typpitrifluoridia käytetään pääasiassa plasmaetsauskaasuna ja reaktiokammion puhdistusaineena, ja se soveltuu puolijohdesirujen, litteiden näyttöjen, optisten kuitujen, aurinkokennojen jne.
Verrattuna muihin fluoria sisältäviin elektroniikkakaasuihin,typpitrifluoridisen etuna on nopea reaktio ja korkea hyötysuhde. Erityisesti piipitoisten materiaalien, kuten piinitridin, syövytyksessä sillä on korkea etsausnopeus ja selektiivisyys, eivätkä jätä jäämiä syövytetyn esineen pintaan. Se on myös erittäin hyvä puhdistusaine, eikä se saastuta pintaa, mikä voi täyttää käsittelyprosessin tarpeet.
Postitusaika: 14.9.2024
