Yleisiä fluoria sisältäviä erityisiä elektroniikkakaasuja ovat mm.rikkiheksafluoridi (SF6), volframiheksafluoridi (WF6),hiilitetrafluoridi (CF4), trifluorimetaani (CHF3), typpitrifluoridi (NF3), heksafluorietaani (C2F6) ja oktafluoripropaani (C3F8).
Nanoteknologian kehityksen ja elektroniikkateollisuuden laajamittaisen kehityksen myötä sen kysyntä kasvaa päivä päivältä. Typpitrifluoridilla on paneelien ja puolijohteiden tuotannossa ja prosessoinnissa välttämättömänä ja eniten käytettynä erikoiselektroniikkakaasuna laaja markkina-alue.
Fluoria sisältävänä erikoiskaasunatyppitrifluoridi (NF3)on elektroniikan erikoiskaasutuote, jolla on suurin markkinakapasiteetti. Se on kemiallisesti inertti huoneenlämmössä, aktiivisempi kuin happi korkeissa lämpötiloissa, vakaampi kuin fluori ja helppo käsitellä. Typpitrifluoridia käytetään pääasiassa plasmaetsauskaasuna ja reaktiokammion puhdistusaineena, ja se soveltuu puolijohdesirujen, litteiden näyttöjen, optisten kuitujen, aurinkokennojen jne. valmistukseen.
Verrattuna muihin fluoria sisältäviin elektroniikkakaasuihin,typpitrifluoridiSillä on etuna nopea reagointikyky ja korkea hyötysuhde. Erityisesti piitä sisältävien materiaalien, kuten piinitridin, syövytyksessä sillä on korkea syövytysnopeus ja selektiivisyys, eikä se jätä jäämiä syövytetyn kappaleen pinnalle. Se on myös erittäin hyvä puhdistusaine eikä jätä pintaa saastuneeksi, mikä voi vastata käsittelyprosessin tarpeisiin.
Julkaisun aika: 14.9.2024
