Yleisiä fluoriinia sisältäviä erityisiä elektronisia kaasuja ovatRikkiheksafluoridi (SF6), volframi Hexafluoride (WF6),Hiilitetrafluoridi (CF4), trifluorimetaani (CHF3), typpitrifluoridi (NF3), heksafluoroetaani (C2F6) ja oktafluoripropaani (C3F8).
Nanoteknologian kehityksen ja elektroniikkateollisuuden laajamittaisen kehityksen myötä sen kysyntä kasvaa päivä päivältä. Typen trifluoridi, välttämättömänä ja suurimpana erityisellä elektronisena kaasuna paneelien ja puolijohteiden tuotannossa ja käsittelyssä, on laaja markkinatalo.
Tyyppinä fluoriinia sisältävää erityistä kaasua,Typen trifluoridi (NF3)on elektroninen erityinen kaasutuote, jolla on suurin markkinoiden kapasiteetti. Se on kemiallisesti inertti huoneenlämpötilassa, aktiivisempi kuin happi korkeassa lämpötilassa, stabiilempi kuin fluori ja helppo käsitellä. Typen trifluoridia käytetään pääasiassa plasman etsauskaasuna ja reaktiokammionpuhdistusaineena, ja se sopii puolijohdisirujen, litteiden paneelien näytöksien, optisten kuitujen, aurinkovoiman solujen jne.
Verrattuna muihin fluoriinia sisältäviin elektronisiin kaasuihin,typen trifluoridion nopean reaktion ja korkean hyötysuhteen edut. Erityisesti piidakuljetusmateriaalien, kuten piinitridin, etsauksessa, sillä on korkea etsausnopeus ja selektiivisyys, jättämättä jäännöksiä etsatun esineen pinnalle. Se on myös erittäin hyvä siivousaine, eikä sillä ole pilaantumista pinnalle, mikä voi vastata prosessointiprosessin tarpeisiin.
Viestin aika: syyskuu-14-2024
