Maamme puolijohdeteollisuus ja paneeliteollisuus ylläpitävät korkeaa vaurautta. Typen trifluoridi, välttämättömänä ja suurimpana tilavuutena erityisellä elektronisena kaasuna paneelien ja puolijohteiden tuotannossa ja prosessoinnissa, on laaja markkinatila.
Yleisesti käytettyjä fluoriinia sisältäviä erityisiä elektronisia kaasuja ovatRikkiheksafluoridi (SF6), volframi Hexafluoride (WF6),Hiilitetrafluoridi (CF4), trifluorimetaani (CHF3), typpitrifluoridi (NF3), heksafluoroetaani (C2F6) ja oktafluoripropaani (C3F8). Typen trifluoridia (NF3) käytetään pääasiassa fluorilähteenä vedyn fluoridifluoridikaasun korkeaenergisten kemiallisten laserien suhteen. H2-O2: n ja F2: n välisen reaktioenergian tehokas osa (noin 25%) voidaan vapauttaa lasersäteilyllä, joten laserien HF on lupaavimmat laserit kemiallisten laserien keskuudessa.
Typen trifluoridi on erinomainen plasman etsauskaasu mikroelektroniikkateollisuudessa. Piipidon ja piin nitridin syövyttämiseksi typpitrifluoridilla on korkeampi syövytysnopeus ja selektiivisyys kuin hiilitetrafluoridilla ja hiiletrafluoridin ja hapen seoksella, eikä siinä ole pilaantumista pintaan. Erityisesti integroitujen piirimateriaalien etsauksessa, jonka paksuus on alle 1,5UM, typpimien trifluoridilla on erittäin erinomainen syövytysnopeus ja selektiivisyys, jättämättä jäännöksiä etsatun esineen pinnalle ja se on myös erittäin hyvä puhdistusaine. Nanoteknologian kehityksen ja elektroniikkateollisuuden laajamittaisen kehityksen myötä sen kysyntä kasvaa päivä päivältä.
Tyyppinä fluoriinia sisältävää erityistä kaasua typpitrifluoridi (NF3) on markkinoiden suurin elektroninen erityiskaasutuote. Se on kemiallisesti inertti huoneenlämpötilassa, aktiivisempi kuin happi, stabiilempi kuin fluori ja helppo käsitellä korkeassa lämpötilassa.
Typen trifluoridia käytetään pääasiassa plasman etsauskaasu- ja reaktiokammionpuhdistusaineena, joka sopii valmistuskenttiin, kuten puolijohdisiruihin, litteisiin paneeliin, optisiin kuiduihin, aurinkosähkökennoihin jne.
Verrattuna muihin fluoriin sisältyviin elektronisiin kaasuihin typpitrifluoridilla on nopean reaktion ja korkean hyötysuhteen etuja, etenkin piin sisäistävät materiaalit, kuten pii-nitridi, on korkea syövytysnopeus ja selektiivisyys, jättämättä jäännöksiä syötetyn esineen pinnalle, ja se on myös erittäin puhdastusaine, ja se on tarpeen istunnon ja se on tarpeen.
Viestin aika: 26-26-2024
