Suurin määrä elektroniikkalaitteen erikoiskaasua – typpitrifluoridi NF3

Maamme puolijohde- ja paneeliteollisuus ylläpitää korkeaa vauraustasoa. Typpitrifluoridilla, välttämättömänä ja suurimpana erikoiselektroniikkakaasuna paneelien ja puolijohteiden tuotannossa ja jalostuksessa, on laaja markkina-alue.

Yleisesti käytettyjä fluoria sisältäviä erikoiskaasuja elektroniikassa ovat mm.rikkiheksafluoridi (SF6), volframiheksafluoridi (WF6),hiilitetrafluoridi (CF4), trifluorimetaani (CHF3), typpitrifluoridi (NF3), heksafluorietaani (C2F6) ja oktafluoripropaani (C3F8). Typpitrifluoridia (NF3) käytetään pääasiassa fluorin lähteenä vetyfluoridi-fluoridikaasua sisältävissä suurenergisissä kemiallisissa lasereissa. Tehokas osa (noin 25 %) H2-O2:n ja F2:n välisestä reaktioenergiasta voidaan vapauttaa lasersäteilyllä, joten HF-OF-laserit ovat lupaavimpia kemiallisten lasereiden joukossa.

Typpitrifluoridi on erinomainen plasmaetsauskaasu mikroelektroniikkateollisuudessa. Piin ja piinitridin etsauksessa typpitrifluoridilla on suurempi etsausnopeus ja selektiivisyys kuin hiilitetrafluoridilla ja hiilitetrafluoridin ja hapen seoksella, eikä se saastuta pintaa. Erityisesti alle 1,5 μm:n paksuisten integroitujen piirien etsauksessa typpitrifluoridilla on erittäin erinomainen etsausnopeus ja selektiivisyys, eikä se jätä jäämiä syövytetyn kappaleen pinnalle, ja se on myös erittäin hyvä puhdistusaine. Nanoteknologian kehittyessä ja elektroniikkateollisuuden laajamittaisen kehityksen myötä sen kysyntä kasvaa päivä päivältä.

Fluoripitoisena erikoiskaasuna typpitrifluoridi (NF3) on markkinoiden suurin elektroniikkalaitteiden erikoiskaasutuote. Se on kemiallisesti inertti huoneenlämmössä, aktiivisempi kuin happi, vakaampi kuin fluori ja helppo käsitellä korkeissa lämpötiloissa.

Typpitrifluoridia käytetään pääasiassa plasman etsauskaasuna ja reaktiokammion puhdistusaineena, ja se soveltuu valmistusaloille, kuten puolijohdesiruille, litteille näytöille, optisille kuiduille, aurinkokennoille jne.

Verrattuna muihin fluoria sisältäviin elektronisiin kaasuihin, typpitrifluoridilla on etuna nopea reaktio ja korkea hyötysuhde, erityisesti piitä sisältävien materiaalien, kuten piinitridin, syövytyksessä. Sillä on korkea syövytysnopeus ja selektiivisyys, eikä se jätä jäämiä syövytetyn esineen pinnalle. Se on myös erittäin hyvä puhdistusaine, eikä se saastuta pintaa ja voi vastata käsittelyprosessin tarpeisiin.