Vuonna 2018 integroitujen piirien maailmanlaajuiset elektroniikkakaasumarkkinat saavuttivat 4,512 miljardia US$, mikä on 16 % enemmän kuin vuotta aiemmin. Puolijohteiden elektronisen erikoiskaasuteollisuuden korkea kasvuvauhti ja valtava markkinakoko ovat kiihdyttäneet kotimaista elektronisen erikoiskaasun korvaussuunnitelmaa!
Mikä on elektronikaasu?
Elektroniikkakaasulla tarkoitetaan peruslähdemateriaalia, jota käytetään puolijohteiden, litteiden näyttöjen, valodiodien, aurinkokennojen ja muiden elektronisten tuotteiden valmistuksessa, ja sitä käytetään laajalti puhdistuksessa, syövytyksessä, kalvonmuodostuksessa, dopingissa ja muissa prosesseissa. Elektroniikkakaasun pääsovellusalueita ovat elektroniikkateollisuus, aurinkokennot, matkaviestintä, autonavigointi ja auton audio- ja videojärjestelmät, ilmailu, sotateollisuus ja monet muut alat.
Elektroniset erikoiskaasut voidaan jakaa seitsemään kategoriaan sen oman kemiallisen koostumuksen mukaan: pii, arseeni, fosfori, boori, metallihydridi, halogenidi ja metallialkoksidi. Integroitujen piirien eri sovellutusmenetelmien mukaan se voidaan jakaa dopingkaasuun, epitaksikaasuun, ioni-istutuskaasuun, valodiodikaasuun, syövytyskaasuun, kemialliseen höyrypinnoituskaasuun ja tasapainokaasuun. Puolijohdeteollisuudessa käytetään yli 110 yksikköä erikoiskaasuja, joista yli 30 on yleisesti käytössä.
Yleensä puolijohdeteollisuus jakaa kaasut kahteen tyyppiin: tavalliset kaasut ja erikoiskaasut. Niistä yleisesti käytetty kaasu viittaa keskitettyyn syöttöön ja käyttää paljon kaasua, kuten N2, H2, O2, Ar, He jne. Erikoiskaasulla tarkoitetaan joitain puolijohteiden valmistuksessa käytettyjä kemiallisia kaasuja, kuten esim. pidennys, ionisuihkutus, sekoitus, pesu ja maskin muodostus, jota kutsumme nykyään elektroniseksi erikoiskaasuksi, kuten erittäin puhdas SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 jne.
Puolijohdeteollisuuden koko tuotantoprosessissa sirun kasvusta laitteen lopulliseen pakkaukseen lähes jokainen linkki on erottamaton elektroniikka-erikoiskaasusta ja käytetyn kaasun monipuolisuudesta ja korkeasta laatuvaatimuksista, joten elektroniikkakaasussa on puolijohdemateriaaleja. "Ruoka".
Viime vuosina Kiinan tärkeimpien elektronisten komponenttien, kuten puolijohteiden ja näyttöpaneelien, uusi tuotantokapasiteetti on kasvanut, ja elektronisten kemiallisten materiaalien tuontikorvaukselle on kova kysyntä. Elektroniikkakaasujen asema puolijohdeteollisuudessa on noussut yhä näkyvämmäksi. Kotimainen elektroniikkakaasuteollisuus tuo nopeaan kasvuun.
Elektronisella erikoiskaasulla on erittäin korkeat puhtausvaatimukset, koska jos puhtaus ei ole vaatimusten mukainen, elektronisen erikoiskaasun epäpuhtausryhmät, kuten vesihöyry ja happi muodostavat helposti puolijohteen pintaan oksidikalvon, joka vaikuttaa elektroniikkalaitteiden käyttöikä, ja elektroninen erikoiskaasu sisältää Epäpuhtaudet voivat aiheuttaa puolijohteiden oikosulkuja ja piirivaurioita. Voidaan sanoa, että puhtauden parantamisella on keskeinen rooli elektroniikkalaitteiden tuotannossa ja suorituskyvyssä.
Puolijohdeteollisuuden jatkuvan kehityksen myötä sirujen valmistusprosessi paranee edelleen, ja nyt se on saavuttanut 5 nm:n, mikä on lähestymässä Mooren lain rajaa, joka vastaa yhtä kahdeskymmenesosaa ihmisen hiuksen halkaisijasta ( noin 0,1 mm). Siksi tämä asettaa myös korkeampia vaatimuksia puolijohteiden tuottaman elektronisen erikoiskaasun puhtaudelle.
Postitusaika: 15.12.2021
