Vuonna 2018 integroitujen piirejen globaalit elektroniset kaasumarkkinat olivat 4,512 miljardia dollaria, mikä on 16%: n lisäys vuosi edellisvuodesta. Puolijohteiden elektronisen erityiskaasuteollisuuden korkea kasvuvauhti ja valtava markkinoiden koko on nopeuttanut elektronisen erikoiskaasun kotimaisen korvaussuunnitelman!
Mikä on elektronikaasu?
Elektroninen kaasu viittaa puolijohteiden, litteiden paneelien, valoa säteilevien diodien, aurinkokennojen ja muiden elektronisten tuotteiden tuotannossa, ja sitä käytetään laajasti puhdistuksessa, etsauksessa, kalvonmuodostuksessa, dopingissa ja muissa prosesseissa. Elektronisen kaasun tärkeimpiä sovellusalueita ovat elektroniikkateollisuus, aurinkokennot, matkaviestintä, auton navigointi- ja autoääni- ja videojärjestelmät, ilmailu-, sotilasteollisuus ja monet muut kentät.
Elektroninen erikoiskaasu voidaan jakaa seitsemään luokkaan sen oman kemiallisen koostumuksen mukaan: pii, arseeni, fosfori, boori, metallihydridi, halogenidi ja metalli -alkoksidi. Integroitujen piirejen erilaisten levitysmenetelmien mukaan se voidaan jakaa seoksen kaasuun, epitaksiakaasuun, ionin implantaatiokaasuun, valoa säteilevään diodikaasuun, syövyttäen kaasua, kemiallista höyryn laskeutumiskaasua ja tasapainokaasua. Puolijohdeteollisuudessa käytetään yli 110 yksikköä erityiskaasua, joista käytetään yleisesti yli 30.
Puolijohdetuotantoteollisuus jakaa yleensä kaasut kahteen tyyppiin: yleisiin kaasuihin ja erityisiin kaasuihin. Niiden joukossa yleisesti käytetty kaasu viittaa keskitettyyn tarjontaan ja käyttää paljon kaasua, kuten N2, H2, O2, AR, Hän jne. Erityiskaasu viittaa joihinkin puolijohdetuotannossa käytettyihin kemiallisiin kaasuihin, kuten laajennukseen, ionin injektioon, sekoitukseen, pesuun ja maskin muodostumiseen, jota kutsumme nyt elektroniseksi erityiskaasulle, kuten High Sidure SI4, PH3, Ash3, B2H6 NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2 jne.
Puolijohdeteollisuuden koko tuotantoprosessissa sirujen kasvusta lopulliseen laitepakkaukseen melkein jokainen linkki on erottamaton elektronisesta erityiskaasusta ja käytettyjen kaasu- ja korkealaatuisten vaatimusten monimuotoisuudesta, joten elektronisella kaasulla on puolijohdemateriaaleja. ”Ruoka”.
Viime vuosina Kiinan suuret elektroniset komponentit, kuten puolijohteet ja näyttöpaneelit, ovat lisääntyneet uudessa tuotantokapasiteetissa, ja elektronisten kemiallisten materiaalien tuontivabjektille on voimakas kysyntä. Puolijohdeteollisuuden elektronisten kaasujen sijainti on tullut yhä näkyvämmäksi. Kotimainen elektroninen kaasuteollisuus johtaa nopeaan kasvuun.
Elektronisella erityiskaasulla on erittäin korkeat puhtausvaatimukset, koska jos puhtaus ei ole vaatimusten mukainen, epäpuhtausryhmät, kuten vesihöyry ja happi elektronisessa erityiskaasussa, muodostavat helposti oksidikalvon puolijohteen pinnalle, mikä vaikuttaa elektronisten laitteiden käyttöikäyn, ja elektroninen erityisruonekaasu sisältää epäpuhtauksien hiukkaset. Voidaan sanoa, että puhtauden parantamisella on elintärkeä rooli elektronisen laitteen tuotannon saannossa ja suorituskyvyssä.
Puolijohdeteollisuuden jatkuvan kehityksen myötä sirun valmistusprosessi paranee edelleen, ja nyt se on saavuttanut 5 nm, joka on lähestymässä Mooren lain rajaa, joka vastaa ihmisen hiusten halkaisijan (noin 0,1 mm) yhdenkymmenesosa. Siksi tämä asettaa myös korkeammat vaatimukset puolijohteiden tuottaman elektronisen erityiskaasun puhtauteen.
Viestin aika: joulukuu-15-2021
