Vuonna 2018 integroitujen piirien maailmanlaajuiset elektroniikkakaasumarkkinat saavuttivat 4,512 miljardia Yhdysvaltain dollaria, mikä on 16 %:n vuosikasvu. Puolijohteiden elektroniikkakaasuteollisuuden nopea kasvuvauhti ja valtava markkinakoko ovat kiihdyttäneet elektroniikkakaasun korvaamissuunnitelmaa kotimaassa!
Mikä on elektronikaasu?
Elektroniikkakaasulla tarkoitetaan puolijohteiden, litteiden näyttöjen, valodiodien, aurinkokennojen ja muiden elektronisten tuotteiden valmistuksessa käytettyä perusmateriaalia, ja sitä käytetään laajalti puhdistuksessa, syövytyksessä, kalvonmuodostuksessa, dopingissa ja muissa prosesseissa. Elektroniikkakaasun tärkeimpiä sovellusalueita ovat elektroniikkateollisuus, aurinkokennot, matkaviestintä, autojen navigointi- ja autojen äänentoistojärjestelmät, ilmailu- ja avaruusteollisuus, sotilasteollisuus ja monet muut alat.
Elektroniikan erikoiskaasut voidaan jakaa seitsemään luokkaan niiden kemiallisen koostumuksen mukaan: pii, arseeni, fosfori, boori, metallihydridi, halogenidi ja metallialkoksidi. Integroitujen piirien eri sovellusmenetelmien mukaan ne voidaan jakaa dopingkaasuun, epitaksikaasuun, ioni-istutuskaasuun, valodiodikaasuun, etsauskaasuun, kemialliseen höyrypinnoituskaasuun ja tasapainotuskaasuun. Puolijohdeteollisuudessa käytetään yli 110 erilaista erikoiskaasua, joista yli 30 on yleisesti käytettyjä.
Puolijohdeteollisuus jakaa kaasut yleensä kahteen tyyppiin: tavallisiin kaasuihin ja erikoiskaasuihin. Näistä yleisesti käytetty kaasu viittaa keskitettyyn syöttöön ja paljon kaasua käyttävään kaasuun, kuten N2, H2, O2, Ar, He jne. Erikoiskaasu viittaa joihinkin kemiallisiin kaasuihin, joita käytetään puolijohdetuotannon prosesseissa, kuten venyttelyssä, ionien injektoinnissa, sekoituksessa, pesussa ja maskinmuodostuksessa, joita nykyään kutsutaan elektroniikka-alan erikoiskaasuiksi, kuten erittäin puhdasta SiH4:ää, PH3:a, AsH3:a, B2H6:a, N2O:a, NH3:a, SF6:a, NF3:a, CF4:ää, BCl3:a, BF3:a, HCl:a, Cl2:a jne.
Puolijohdeteollisuuden koko tuotantoprosessissa, sirun kasvusta laitteen lopulliseen pakkaukseen, lähes jokainen lenkki on erottamaton elektroniikkakaasusta, käytetyn kaasun monimuotoisuudesta ja korkeista laatuvaatimuksista, joten elektroniikkakaasulla on puolijohdemateriaaleja. "Ruoka".
Viime vuosina Kiinan tärkeimpien elektronisten komponenttien, kuten puolijohteiden ja näyttöpaneelien, uusi tuotantokapasiteetti on kasvanut, ja elektronisten kemikaalien tuonnin korvaamiselle on vahva kysyntä. Elektronisten kaasujen asema puolijohdeteollisuudessa on tullut yhä merkittävämmäksi. Kotimainen elektronisten kaasujen teollisuus tulee kasvamaan nopeasti.
Elektroniikkalaitteiden erikoiskaasulla on erittäin korkeat puhtausvaatimukset, koska jos puhtaus ei täytä vaatimuksia, elektroniikkalaitteiden erikoiskaasun epäpuhtausryhmät, kuten vesihöyry ja happi, muodostavat helposti oksidikalvon puolijohteen pinnalle, mikä vaikuttaa elektronisten laitteiden käyttöikään. Elektroniikkalaitteiden erikoiskaasun sisältämät epäpuhtaushiukkaset voivat aiheuttaa puolijohteiden oikosulkuja ja piirivaurioita. Voidaan sanoa, että puhtauden parantaminen on elintärkeää elektroniikkalaitteiden tuotannon saannolle ja suorituskyvylle.
Puolijohdeteollisuuden jatkuvan kehityksen myötä sirujen valmistusprosessi paranee edelleen, ja nyt se on saavuttanut 5 nm:n tason, joka on lähellä Mooren lain rajaa, joka vastaa ihmisen hiuksen halkaisijan kahdeskymmenesosaa (noin 0,1 mm). Tämä asettaa myös korkeammat vaatimukset puolijohteiden tuottaman elektronisen erikoiskaasun puhtaudelle.
Julkaisun aika: 15.12.2021
