Vetykloridion väritön kaasu, jolla on pistävä haju. Sen vesiliuosta kutsutaan suolahapoksi, joka tunnetaan myös nimellä suolahappo. Vetykloridi on hyvin liukoinen veteen. 0 ° C: ssa 1 tilavuus vettä voi liuottaa noin 500 tilavuutta vetykloridia.

Sillä on seuraavat ominaisuudet ja ominaisuudet:

1. Korkea puhtaus

Elektronisen luokan puhtausvetykloridion erittäin korkea, yleensä PPM: llä tai alemmalla tasolla, varmistaakseen, että puolijohteiden valmistusprosessiin ei oteta käyttöön epäpuhtauksia.

2. Inertitti

Se on kemiallisesti inertti kaasu, joka ei reagoi monien muiden aineiden kanssa, mikä on erittäin tärkeää puolijohdemateriaalien ja -laitteiden saastumisen estämiseksi.

3. Korkea vakaus

Elektroninen luokkavetykloridiYleensä on vakaa kemia luotettavan puolijohdeprosessoinnin varmistamiseksi.

Puolijohteiden prosessoinnissa elektronisen luokan vetykloridin tärkeimmät sovellukset sisältävät:

Kello 1. Pintapuhdistus ja valmistus

Tehokkaana pintapuhdistusaineena elektroninen luokkavetykloridikäytetään poistamaan oksidit ja epäpuhtaudet substraatin pinnalta epitaksiaalikerroksen tai kalvon laadun ja puhtauden varmistamiseksi.

2. Epitaksiaalikasvu -apu

Epitaksiaalisessa prosessissa käytettynä pintakäsittelyajana se auttaa parantamaan epitaksiaalikerroksen laatua, parantamaan hilan sovittamista ja vähentämään hilan vaurioiden muodostumista.

3. Substraatin esikäsittely

Ennen puolijohdelaitteiden valmistelua elektroninen luokkavetykloridiVoidaan käyttää substraatin pinnan käsittelemiseen vakaan pohjan muodostamiseksi epitaksiaalikerroksen ja substraatin välisen tartunnan parantamiseksi.

4. Laskeutumisaine

Kemiallisen höyryn laskeutumisen (CVD) tai fysikaalisen höyryn laskeutumisen (PVD) prosessissa elektronisen luokan vetykloridia voidaan käyttää kaasufaasinsiirtoväliaineena osallistumaan puolijohdemateriaalien laskeutumisreaktioon.

5. Kaasun vaiheen siirtoaine

Kaasun faasinsiirtoaineena reaktiokammioon viedään muita kaasumaisia ​​esiasteita, jotta voidaan säätää materiaalin laskeumanopeutta ja yhtenäisyyttä.

Nämä ominaisuudet tekevät elektronisesta luokastavetykloridiPuolijohdeteknologian tärkeä prosessointiaine, jolla on avainvaikutus lopullisen laitteen suorituskykyyn ja luotettavuuteen.

Puolijohteiden prosessoinnissa sen käytön lisäksi elektronisen luokan vetykloridi voi löytää erilaisia ​​käyttötarkoituksia muilla alueilla, mukaan lukien: korkean puhtauden materiaalin, polttokennojen, puolijohdemateriaalin kasvu, höyryvaiheen litografia, materiaalianalyysi, kemiallinen tutkimus.

Yleensä elektroninen luokkavetykloridion monipuolinen, korkea puhtaus kaasu, jolla on laaja valikoima sovelluksia puolijohteiden valmistuksen ulkopuolella.