Kloorivetyon väritön kaasu, jolla on pistävä haju. Sen vesiliuosta kutsutaan suolahapoksi, joka tunnetaan myös nimellä suolahappo. Kloorivety liukenee erittäin hyvin veteen. 0 °C:ssa yksi tilavuusosa vettä voi liuottaa noin 500 tilavuusosaa kloorivetyä.

Sillä on seuraavat ominaisuudet ja piirteet:

1. Korkea puhtausaste

Elektronisen laadun puhtausvetykloridion erittäin korkea, yleensä ppm-tasolla tai sitä alhaisemmalla tasolla, jotta varmistetaan, ettei puolijohteiden valmistusprosessiin pääse epäpuhtauksia.

2. Inertia

Se on kemiallisesti inertti kaasu, joka ei reagoi monien muiden aineiden kanssa, mikä on erittäin tärkeää puolijohdemateriaalien ja -laitteiden saastumisen estämiseksi.

3. Korkea vakaus

Elektroninen arvosanavetykloridiyleensä vakaa kemia luotettavan puolijohdeprosessoinnin varmistamiseksi.

Puolijohteiden prosessoinnissa elektroniikkalaatuisen vetykloridin tärkeimpiä käyttökohteita ovat:

1. Pinnan puhdistus ja valmistelu

Tehokkaana pinnanpuhdistusaineena elektroniikkalaatuinenvetykloridikäytetään oksidien ja epäpuhtauksien poistamiseen substraatin pinnalta epitaksiaalisen kerroksen tai kalvon laadun ja puhtauden varmistamiseksi.

2. Epitaksiaalinen kasvuapu

Käytetään pintakäsittelyaineena epitaksiaaliprosessissa, ja se auttaa parantamaan epitaksiaalikerroksen laatua, parantamaan hilan yhteensopivuutta ja vähentämään hilavirheiden muodostumista.

3. Alustan esikäsittely

Ennen puolijohdelaitteiden valmistusta, elektroniikkalaatuisiavetykloridivoidaan käyttää substraatin pinnan käsittelyyn vakaan pohjan muodostamiseksi epitaksiaalisen kerroksen ja substraatin välisen tarttuvuuden parantamiseksi.

4. Laskeutumisapuaine

Kemiallisen höyrypinnoituksen (CVD) tai fysikaalisen höyrypinnoituksen (PVD) prosessissa elektroniikkalaatuista vetykloridia voidaan käyttää kaasufaasin siirtoväliaineena puolijohdemateriaalien laskeutumisreaktioon osallistumiseksi.

5. Kaasufaasinsiirtoaine

Kaasufaasinsiirtoaineena reaktiokammioon johdetaan muita kaasumaisia ​​esiasteita materiaalin laskeutumisnopeuden ja tasaisuuden säätämiseksi.

Nämä ominaisuudet tekevät elektronisesta laadustavetykloriditärkeä prosessointiaine puolijohdetekniikassa, jolla on keskeinen vaikutus lopullisen laitteen suorituskykyyn ja luotettavuuteen.

Puolijohdeprosessoinnin lisäksi elektroniikkalaatuista vetykloridia voidaan käyttää monilla muilla aloilla, kuten: erittäin puhtaiden materiaalien valmistuksessa, polttokennoissa, puolijohdemateriaalien kasvussa, höyryfaasilitografiassa, materiaalianalyysissä ja kemiallisessa tutkimuksessa.

Yleisesti ottaen elektroninen laatuvetykloridion monipuolinen, erittäin puhdas kaasu, jolla on laaja valikoima sovelluksia puolijohdevalmistuksen ulkopuolella.