Booritrikloridi (BCl3)on epäorgaaninen yhdiste, jota käytetään yleisesti kuivaetsaus- ja kemiallisen höyrypinnoituksen (CVD) prosesseissa puolijohdevalmistuksessa. Se on väritön kaasu, jolla on voimakas pistävä haju huoneenlämmössä ja joka on herkkä kostealle ilmalle, koska se hydrolysoituu tuottaen suolahappoa ja boorihappoa.

Booritrikloridin sovellukset

PuolijohdeteollisuudessaBooritrikloridikäytetään pääasiassa alumiinin kuivaetsaukseen ja seostusaineena P-tyypin alueiden muodostamiseen piikiekkoihin. Sitä voidaan käyttää myös materiaalien, kuten GaAs:n, Si:n ja AlN:n, etsaukseen ja boorin lähteenä tietyissä erityissovelluksissa. Lisäksi booritrikloridia käytetään laajalti metallinjalostuksessa, lasiteollisuudessa, kemiallisessa analyysissä ja laboratoriotutkimuksessa.

Booritrikloridin turvallisuus

Booritrikloridion syövyttävää ja myrkyllistä ja voi aiheuttaa vakavia vaurioita silmille ja iholle. Se hydrolysoituu kosteassa ilmassa vapauttaen myrkyllistä kloorivetykaasua. Siksi käsittelyssä on noudatettava asianmukaisia ​​turvatoimenpiteitä.Booritrikloridi, mukaan lukien suojavaatteiden, suojalasien ja hengityssuojainten käyttö sekä työskentely hyvin ilmastoidussa tilassa.