Booritrikloridi (BCL3)on epäorgaaninen yhdiste, jota käytetään yleisesti kuivien etsaus- ja kemiallisen höyryn laskeutumisprosessien (CVD) prosesseissa puolijohteiden valmistuksessa. Se on väritön kaasu, jolla on voimakas pistävä haju huoneenlämpötilassa ja on herkkä kostealle ilmalle, koska se hydrolysoi suolahapon ja boorihapon tuottamiseksi.

Booritrikloridin sovellukset

Puolijohdeteollisuudessa,Booritrikloridikäytetään pääasiassa alumiinin kuivaan etsaukseen ja lisäaineena P-tyypin alueiden muodostamiseksi piikiekkoille. Sitä voidaan käyttää myös materiaalien, kuten GAAS: n, Si, ALN: n, ja boorilähteenä tietyissä erityisissä sovelluksissa. Lisäksi booritrikloridia käytetään laajasti metallinkäsittelyssä, lasiteollisuudessa, kemiallisessa analyysissä ja laboratoriotutkimuksessa.

Booritrikloridin turvallisuus

Booritrikloridion syövyttävä ja myrkyllinen ja voi aiheuttaa vakavia vaurioita silmille ja iholle. Se hydrolysoi kosteassa ilmassa myrkyllisen vetykloridikaasun vapauttamiseksi. Siksi käsittelyssä on toteutettava asianmukaiset turvatoimenpiteetBooritrikloridi, mukaan lukien suojavaatteiden, suojalasien ja hengityssuojauslaitteiden käyttäminen sekä hyvin ilmastoidussa ympäristössä.