Hiilitetrafluoridi (CF4)

Tekniset parametrit

Hiilitetrafluoridi on halogenoitu hiilivety, jonka kemiallinen kaava on CF4. Sitä voidaan pitää halogenoituna hiilivetynä, halogenoituna metaanina, perfluorihiilivetynä tai epäorgaanisena yhdisteenä. Hiilitetrafluoridi on väritön ja hajuton kaasu, joka ei liukene veteen ja liukene bentseeniin ja kloroformiin. Stabiili normaalissa lämpötilassa ja paineessa, vältä voimakkaita hapettimia, syttyviä tai palavia materiaaleja. Palamaton kaasu, säiliön sisäinen paine kasvaa, kun se altistetaan korkealle kuumuudelle, ja on olemassa halkeilun ja räjähdyksen vaara. Se on kemiallisesti stabiili ja palamaton. Vain nestemäinen ammoniakki-natriummetallireagenssi voi toimia huoneenlämmössä. Hiilitetrafluoridi on kasvihuoneilmiön aiheuttava kaasu. Se on erittäin stabiili, voi pysyä ilmakehässä pitkään ja on erittäin voimakas kasvihuonekaasu. Hiilitetrafluoridia käytetään erilaisten integroitujen piirien plasmaetsausprosessissa. Sitä käytetään myös laserkaasuna, ja sitä käytetään matalan lämpötilan kylmäaineissa, liuottimissa, voiteluaineissa, eristemateriaaleissa ja infrapunailmaisimien jäähdytysaineissa. Se on mikroelektroniikkateollisuudessa eniten käytetty plasmaetsauskaasu. Se on seos tetrafluorimetaanikaasua, tetrafluorimetaanikaasua ja happikaasua. Sitä voidaan käyttää laajalti piissä, piidioksidissa, piinitridissä ja fosfosilikaattilasissa. Ohutkalvomateriaalien, kuten volframin ja volframin, syövytystä käytetään myös laajalti elektronisten laitteiden pinnanpuhdistuksessa, aurinkokennojen tuotannossa, lasertekniikassa, matalan lämpötilan jäähdytyksessä, vuotojen tarkastuksessa ja painettujen piirien tuotannossa käytettävinä pesuaineina. Sitä käytetään matalan lämpötilan kylmäaineena ja plasmakuivaetsaustekniikkana integroiduille piireille. Varastointia koskevat varotoimet: Säilytä viileässä, ilmastoidussa, palamattomassa kaasuvarastossa. Pidä poissa tulesta ja lämmönlähteistä. Varastointilämpötilan ei tulisi ylittää 30 °C:a. Se on varastoitava erillään helposti (syttyvistä) syttyvistä aineista ja hapettimista, ja vältettävä sekavarastointia. Varastointialueella on oltava vuotojen hätäkäsittelylaitteet.

Sovellus:

① Kylmäaine:

Tetrafluorimetaania käytetään joskus kylmäaineena matalassa lämpötilassa.

② Syövytys:

Sitä käytetään elektroniikan mikrovalmistuksessa yksinään tai yhdessä hapen kanssa plasmaetsausaineena piille, piidioksidille ja piinitridille.

Normaali paketti:

Etu:

①Erittäin puhdas, uusin laitos;

②ISO-sertifikaatin valmistaja;

③Nopea toimitus;

④Verkkopohjainen analyysijärjestelmä laadunvalvontaan jokaisessa vaiheessa;

⑤Korkea vaatimus ja huolellinen prosessi sylinterin käsittelyyn ennen täyttöä;