Hiilitetrafluoridi (CF4)

Tekniset parametrit

Hiilitetrafluoridi on halogenoitu hiilivety, jonka kemiallinen kaava on CF4. Sitä voidaan pitää halogenoituna hiilivetynä, halogenoituna metaanina, perfluorihiilivetynä tai epäorgaanisena yhdisteenä. Hiilitetrafluoridi on väritön ja hajuton kaasu, liukenematon veteen, liukenee bentseeniin ja kloroformiin. Stabiili normaalissa lämpötilassa ja paineessa, vältä voimakkaita hapettimia, syttyviä tai palavia materiaaleja. Palamaton kaasu, säiliön sisäinen paine kasvaa, kun se altistetaan korkealle kuumuudelle, ja on olemassa halkeilu- ja räjähdysvaara. Se on kemiallisesti stabiili ja syttymätön. Vain nestemäinen ammoniakki-natriummetallireagenssi voi toimia huoneenlämpötilassa. Hiilitetrafluoridi on kaasu, joka aiheuttaa kasvihuoneilmiön. Se on erittäin vakaa, voi pysyä ilmakehässä pitkään ja on erittäin voimakas kasvihuonekaasu. Hiilitetrafluoridia käytetään erilaisten integroitujen piirien plasmaetsausprosessissa. Sitä käytetään myös laserkaasuna, ja sitä käytetään matalan lämpötilan kylmäaineissa, liuottimissa, voiteluaineissa, eristysmateriaaleissa ja infrapunailmaisimien jäähdytysnesteissä. Se on eniten käytetty plasmaetsauskaasu mikroelektroniikkateollisuudessa. Se on seos erittäin puhdasta tetrafluorimetaanikaasua ja erittäin puhdasta tetrafluorimetaanikaasua ja erittäin puhdasta happea. Sitä voidaan käyttää laajasti piissä, piidioksidissa, piinitridissä ja fosfosilikaattilasissa. Ohutkalvomateriaalien, kuten volframin ja volframin, etsausta käytetään laajalti myös elektronisten laitteiden pintapuhdistuksessa, aurinkokennojen tuotannossa, lasertekniikassa, matalan lämpötilan jäähdytyksessä, vuotojen tarkastuksessa ja pesuaineissa painetun piirin tuotannossa. Käytetään matalalämpötilaisena kylmäaineena ja plasmakuivaetsaustekniikkana integroiduille piireille. Varastointia koskevat varotoimet: Säilytä viileässä, tuuletetussa palamattomassa kaasuvarastossa. Pidä poissa tulesta ja lämmönlähteistä. Varastointilämpötila ei saa ylittää 30°C. Se tulee varastoida erillään helposti (palavista) palavista aineista ja hapettimista ja välttää sekavarastointia. Varastointialue tulee varustaa vuotojen hätäkäsittelylaitteilla.

Sovellus:

① Kylmäaine:

Tetrafluorimetaania käytetään joskus matalan lämpötilan kylmäaineena.

② Etsaus:

Sitä käytetään elektroniikan mikrovalmistuksessa yksinään tai yhdessä hapen kanssa plasmaetsausaineena piille, piidioksidille ja piinitridille.

Normaali paketti:

Etu:

①Korkea puhtaus, uusin laitos;

②ISO-sertifikaatin valmistaja;

③ Nopea toimitus;

④On-line-analyysijärjestelmä laadunvalvontaan joka vaiheessa;

⑤ Korkeat vaatimukset ja huolellinen prosessi sylinterin käsittelyyn ennen täyttöä;